650 GHz蝴蝶结型波导探针设计

设计了一种面向超导混频器的650 GHz蝴蝶结型波导探针.结合现有成熟的Si/SiO₂衬底工艺,采用全高波导并结合背向短路腔体优化其特性.对波导探针进行了仿真与优化.结果表明,在620～680 GHz频段内,该波导探针的回波损耗低于8 dB,插入损耗低于8 dB;在650 GHz时低于14 dB,嵌入阻抗约为16Ω,且平坦度良好,能满足实际应用需求.