脉冲阴极弧放电制备碳膜及其性能研究

使用自行搭建的高压脉冲大电源,并且利用PLC的控制SCR触发装置产生微秒级单脉冲进行了弧光放电。在一定电压、一定气压、一定距离下,进行了薄膜制备,对薄膜进行了电镜分析和XRD分析。说明在合适的电压、气压和距离下,用该套设备可以制备出比较均匀、结晶性能比较好的薄膜。