两步氧离子注入工艺制备SOI材料研究

研究了200 keV注入能量下, 单步氧离子注入工艺制备SIMOX材料的剂量窗口. 在此基础上, 提出了一种第一步注入剂量为3.6×1017 cm⁻²、第二步注入剂量为3×1015 cm⁻²的改进型两步氧离子注入工艺, 用于制备高质量的SIMOX材料. 与单步氧离子注入工艺的剂量窗口相比, 注入剂量减少了18.2%. 采用椭圆偏振测试仪测量了所制备样品的埋氧层厚度及均匀性. 通过透射电子显微镜观察到无缺陷的顶层硅以及原子级陡峭的顶层硅/埋氧层界面, 表明两步氧离子注入工艺制备的SIMOX材料具有高的顶层硅晶体质量和剖面结构. 采用原子力显微镜对比研究了单步和两步氧离子注入工艺制备的SIMOX材料顶层硅/埋氧层界面形貌.     

试论水工建筑物的质量控制

水工建筑物是社会各建筑群体中的一类，是所在地环境的一个有机组成部分，随着经济社会的发展，水工建筑转的外现越来越受到重视。水工建筑物的外观质量控制主要在设计与施工两个环节。外观设计的质量表现在建筑物满足运行功能要求的情况下，既方便施工，又具有特色。施工的质量表现在建筑物的实施效果。常见的外观质量缺隙主要有蜂窝麻面、色泽不一、气泡偏多，应从施工工艺、建筑材料的质量等方面加以控制。     

浅谈提高建筑工程质量监督管理经验

由于城市现代化建设步伐加快,建设工程任务数量增多,工程复杂程度也越来越大,工程建设呈现出量大、面广、点多、线长、周期短等特征,这就要求工程质量监管必须强化自身建设,不断改进监管模式,以适应日益发展的城市规模带来的监管压力。     

浅谈水工建筑物中防渗加固的措施

多年来水工建筑物防渗加固问题一直是水利工程施工当中尤为重要的环节，当基础土质较差，渗透性较强时，在水流的作用下对基础的危害很大。因此防渗加固工程便成了水工建筑施工中不可忽视的部分。本文简要介绍几种防渗加固技术。     

浅析高速公路波形梁钢护栏施工工艺

<正>0前言高速公路的建设不仅改善了公路交通运输的状况,而且产生了巨大的经济效益和社会效益。但是在高速公路蓬勃发展的同时,我们也应该注意到,在高速公路交通中,越来越成为束缚其发展的制约因素的安全问题。本人以多年来在高速公路交通安全设施工程的施工经验的基础上,以某高速公路为例,编写《高速公路波形梁钢护栏施工工艺》,以期能为高速公路交通安全设施工程的建设提供一些参考意