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采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)工艺制备了掺Bi(Ba0.65Sr0.35)Ti O3(简称BSTBi)薄膜.XRD研究结果表明,BST系列薄膜具有单一钙钛矿结构;AFM测试结果表明BST薄膜表面平整致密,无裂纹.表面均方根粗糙度约为3~6.5nm,晶粒大小分布均匀,直径约为50~75nm.随着热处理温度的提高,BST薄膜的晶粒变大,表面粗糙度变大. 相似文献
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