聚5-苯基戊二烯叉丙二酸乙二酯和聚呋喃丙烯叉丙二酸乙二酯的合成及应用

用改进后的新法合成了两种新型的聚酯型光致抗蚀剂——聚5-苯基戊二烯叉丙二酸乙二酯和聚吠喃丙烯叉丙二酸乙二酯。合成方法简单,反应时间短(6～8小时)。用80瓦汞灯,距离8厘米,所需最短曝光时间分别为10秒和3秒,分辨率达到0.6微米。粘附性能好,抗蚀性强,加入染料后可用作氦氖激光全息照像记录介质。