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一、引言 射频质谱计是测量真空系统中混合气体成分及含量的工具,因此也可以作为真空计使用。 自从1950年Bennett发明了第一个射频质谱计起,到现今有许多人进行了研究工作,发表了很多文章。目前,从射频质谱计分析器的结构看,基本上有三种类型:一种是带有漂移空间的Bennett型射频质谱计,它是三个等距栅作为一级,典型结构是带有两个漂移空间、三级等距栅构成;另一种是无漂移空间的等距棚型射频质谱计,它是由 相似文献
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