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1.
广东省集成电路材料产业发展现状及建议
赵振博
韦文求
刘洋
李银乐
《广东科技》
2022,31(1):47-50
发展集成电路是党中央、国务院加快培育发展战略性新兴产业、建设制造强国的重要战略部署.集成电路材料是集成电路产业发展的基石,处于集成电路产业上游,集成电路的每一个技术创新都会对相应的材料提出新的要求,材料研发和应用的每个进展都为集成电路新结构、新器件的开发提供了新思路、新路径,正所谓一代器件,一代工艺,一代材料.本文对广...
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