聚焦离子束在精细加工中引起损伤的分析

微分析技术已经成为微电子产业发展的重要技术支撑,FIB(focusedion beam)结合了精细加工技术和微分析技术,具有在亚微米线度上的微细加工和高分辨率成像的能力,成为强有力的TEM(transmission electron microscope)制样工具以及电路修补的有力工具.同时,FIB辐照对样品结构的损伤以及器件性能的影响受到广泛的关注.为使实际FIB的工作更优化,更有针对性,从而确保不同器件在FIB加工后的可靠性,从研究FIB辐射对材料结构的损伤入手,针对两种不同类型的晶体管(常规工艺NMOS晶体管和埋沟工艺PMOS晶体管),进行了FIB辐照下的电学性能对比.较常规工艺的NMOS晶体管,埋沟工艺的PMOS晶体管在跨导和迁移率等参数的变化情况与前者相似,但是在阈值电压变化,辐照损伤修复方面,后者显示出独特的性能.     

双壳层结构Fe_3O_4磁性纳米复合材料的合成以及微波吸收性能

Fe3O4磁性纳米颗粒具有良好的微波吸波性能,但是也有着容易被氧化、吸收频带窄等缺点.以不同粒径的Fe3O4磁性纳米颗粒为核,采用模板法制备了具有双壳层结构的Fe3O4@SiO2@SiO2纳米复合材料.不仅提高了Fe3O4磁性纳米颗粒的稳定性,引入的介电材料还可以实行阻抗匹配,改善材料的吸波性能.     

反相色谱法研究偏氟乙烯-三氟氯乙烯共聚物的表面特性

采用气相反相色谱技术（IGC）测试了单体配料比1：1或1：3聚合的偏氟乙烯（VDF）／三氟氯乙烯（CTFE）无规共聚物（F2311和F2313）的表面物化性质．F2311和F2313显示了与一般高聚物分子相似的表面性质,其色散分量随着温度的升高而降低,F2313具有更高的色散自由能且显示了更强的路易斯酸性,从表征路易斯碱性和酸性常数的比值（Kb／Ka）可知,F2311具有更强的给电子特性,而F2313具有更强的亲电子特性．F2313的Ka＋kb值大,具有较强的表面酸碱作用．     

酸改性环氧树脂的合成、表征及热老化分析

酸改性环氧树脂可用于印制电路板(PCB)基材上的阻焊油墨.传统的二步法合成酸改性环氧树脂,反应过程不好控制,容易产生凝胶.本文以反丁烯二酸、丙烯酸为改性剂,采用一步合成法,在双酚A环氧树脂上接枝羧基及带双键的光敏基团,制备UV固化酸改性环氧树脂.通过傅里叶转换红外光谱分析(FTIR)、凝胶渗透色谱(GPC)、超声波显微分析(SAM)、色差分析、热老化分析等表征,结果表明:采用一步法合成的酸改性环氧树脂的平均分子量更大分布更加均匀,固化后机械综合性能、耐热老化性能等均好于二步法合成酸改性环氧树脂工艺,并较好解决了二步法工艺容易凝胶的问题.