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1983年
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1
1.
低温反应射频溅射生长AIN膜
李兴教
徐则川
何自由
李其生
苏武大
《华中科技大学学报(自然科学版)》
1983,(1)
本文报导了用不加正交磁场的低温反应射频溅射生长C轴择优取向AIN多晶膜的方法,用该法在多种基片(特别是在镀铝玻璃片)上制得了择优取向的AIN多晶膜.文中还报导了用XRD与电镜测试AIN多晶膜的结果.初步分析了取向度和粒度大小与工艺条件的关系.
相似文献
2.
激光探针测量层状结构的声表面波速度
林育津
李其生
李德荣
李兴教
钱振型
《华中科技大学学报(自然科学版)》
1983,(1)
本文改进了激光探针测速系统中的测角方法,提高了测量精度.通过实测值与理论计算值比较,分析了ZnO膜/玻璃层状结构中膜层质量对速度的影响.
相似文献
1
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