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李京娜 《烟台师范学院学报(自然科学版)》1999,15(4):270-272
用等离子化学气相淀积法在Si基底上制备氮化硅薄膜,通过红外吸收光谱研究分析了薄膜中的成分及键结构。 相似文献
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