一种获得扫描透射电子象的方法

作者改进了在扫描电镜中使用反射靶面透射样品座获得扫描透射电子象的方法,得到比通常的办法好得多的图象。本文叙述这种方法的原理和实验情况。     

YWD—1A型扫描电子显微镜的背散射电子成象

现在的扫描电镜几乎毫无另外地有背散射电子成象系统。这是由于在扫描电镜里,背散射电子象比二次电子象虽然在信号强度、分辨率等方面赶不上二次电子成象,但是背散射电子象具有一些二次电子象所比不上的优点,如能观察高蒸汽压样品,原子序数Z的反差较高,在正常工作电压下信噪比较高,消除了电荷积累造成的假象等等。 背散射电子探测方式可以是多种多样的。可以是与二次电子的探测共用一个Everhart探测系统;可以是用独立的Everhart系统专门探测背散射电子,把其放在适当的位置,以图达到最好的效果;可以是几个Everhart探测系统放置在样品附近的不同位置,以期从不同的角度探测需要的背散射电子;可以是用一可塑性光导管代替Everhart系统中的玻璃光     

磁透镜九级几何像差计算机辅助分析

 首先计算出在一特定参量下磁透镜各九级几何像差系数.然后利用计算机分析该特定参量下10类九级几何像差在高斯像平面上的散射图形.     

旋转对称电子光学系统的7级几何像差

应用光程函数法计算出旋转对称电子光学系统的７级几何像差,给出旋转对称电磁场同时存在情况下的系统７级几何像差表示式．７级几何像差有３５个系数,按初始条件或边界条件的幂次可以分为８类．     

旋转对称电子光学系统的5级波像差

给出旋转对称电子光学系统的各向同性５级几何波像差的详细分析。