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时良仁 《齐齐哈尔大学学报(自然科学版)》2011,27(3)
介绍一种应用于晶圆传输机械手的开放式运动控制器,它由DSP(TMS320F2812)、CPLD和PC/104嵌入式工控机构成,并将运动控制器的系统结构按功能分为几个模块,同时讨论了各个模块的硬件设计及工作原理. 相似文献
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