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摘 要:试验采用阳极键合技术成功实现了硅片与玻璃管的键合,分析了玻璃管长度、温度及电极分别对电流和键合强度的影响。键合过程中电流随着温度升高而增大,但随着玻璃管长度的增加而减小。初始时电流都先迅速增大至峰值电流,然后随着时间的延长而逐渐减小。采用万能材料试验机对试样进行拉伸测试,结果显示键合强度随着玻璃管长度的增加而减小,而随着温度的升高而增大。同条件下,使用凹型电极的硅-玻璃管的强度比使用平行电极得到的强度要高,分析认为:玻璃管长度的增加导致外加电场强度减小和电阻增大,影响离子迁移及界面氧化反应,而凹型电极的使用对键合起到了促进作用。通过SEM扫描分析了硅-玻璃管的键合界面,结果表明键合界面良好。  相似文献   
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试验采用阳极键合技术成功实现了硅片与玻璃管的键合,分析了玻璃管长度、温度及电极分别对电流和键合强度的影响。键合过程中电流随着温度升高而增大,但随着玻璃管长度的增加而减小。初始时电流都先迅速增大至峰值电流,然后随着时间的延长而逐渐减小。采用万能材料试验机对试样进行拉伸测试,结果显示键合强度随着玻璃管长度的增加而减小,而随着温度的升高而增大。同条件下,使用凹型电极的硅-玻璃管的强度比使用平行电极得到的强度要高,分析认为:玻璃管长度的增加导致外加电场强度减小和电阻增大,影响离子迁移及界面氧化反应,而凹型电极的使用对键合起到了促进作用。通过SEM扫描分析了硅-玻璃管的键合界面,结果表明键合界面良好。  相似文献   
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给出了河流模型计算机控制系统的一种结构模型及控制系统软件的模块结构 .软件的建模方法采用了一种基于Parnas方法的结构化设计方法 ,采用一种新的控制策略———变结构PID控制器来完成对各个控制对象的动态自动控制 .控制系统的一个应用实例及对其试验结果的分析验证了系统中各方法和策略  相似文献   
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给出了河流模型计算机控制系统的一种结构模型及控制系统软件的模块结构,软件的建模方法采用了一种基于Parnas方法的结构化设计方法,采用一种新的控制策略--变结构PID控制器来完成对各个控制对象的动态自动控制,控制系统的一个应用实例及对其试验结果的分析验证了系统中各方法和策略。  相似文献   
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