酞菁铜有机静电感应三极管的研制

采用真空蒸镀和磁控溅射等工艺,利用纯度为99.995％的有机材料酞菁铜（简称CuPc）,试制了Cu／CuPc／AI／CuPc／Cu5层结构的有机静电感应三极管。在室温下测试栅极Al／CuPc的肖特基势垒特性,发现它具有良好的整流特性;通过对该三极管特性进行测试研究,结果表明,该三极管驱动电压低,呈不饱和I-V特性,且其工作特性依赖于铝栅极的电压。