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微波CVD法合成金刚石薄膜的生长规律 总被引:1,自引:0,他引:1
用微波等离子化学气相沉积方法(CVD片)用丙酮-氢气混合气体作为原料,在单晶硅的(111)面和人造单晶金刚石的(100)面上,生长出了优质金刚石薄膜,并对薄膜的生长规律进行了研究。 相似文献
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