超大规模集成电路微细加工精密工作台系统的动态响应

本文根据大规模和超大规模集成电路微细加工精密工作台的质量和刚度的实际分布情况,提出了一个多自由度系统的动力学模型,利用状态空间法求此精密工作台系统的动态运动规律,并借助电子计算机对其精确求解。     

空气静压导轨的优化设计

本文在力学和数学分析的基础上,以雷诺方程为依据,得出了空气静压导轨(圆气垫型)的气膜压力P、承载能力W等特性参数的数学模型。在此基础上,利用系统法在保证空气静压导轨具有足够能力和刚度的条件下,以最佳经济性能——空气消耗量最少为目标,对空气静压导轨的有关主要参数进行了优化。