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溶胶—凝胶法制备氟化物薄膜光波导 总被引:3,自引:0,他引:3
以乙酰丙酮盐为原料,用溶胶-凝胶法制备掺饵的锆钡镧铝氟化物薄膜光波导。第一步为制备包含锆钡镧铝及铒的溶胶;第二步为在基底上用旋转镀膜的方法镀膜及氟化。用这种方法得到的薄膜用扫描电镜测量了其组分和表面膜的形态。同时也测得膜的厚度和折射率。 相似文献
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