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用卢瑟福背散射/沟道技术研究了350kevYb+注入Si(100)所产生的表面非晶层在不同快速热退火温度下的固相外延结晶过程.实验结果表明,在800℃-1000℃的快速热退火温度下,在Yb+射程范围以外的非晶层很容易固相外延结晶;但在同样退火温度下,在Yb+射程分布范围内非晶层的团相外延结晶则非常缓慢.只有在退火温度高于1200℃时,整个表面非晶层才完全消失.射程末端附近的复杂缺陷和缺陷杂质复合体是导致这两个不同结晶区域的主要原因. 相似文献
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