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1.
硅栅CMOS集成电路测试图形的研究
桂力敏
贺德洪
丁瑞军
董胜强
谢嘉慧
陈承
陈康民
陈谷平
徐士美
《上海师范大学学报(自然科学版)》
1992,(1)
本文介绍了用于硅栅CMOSIC园片级工艺诊断和可靠性监控的微电子测试图形。重点论述了(1)用于检测漏、源及多晶硅薄层电阻和因扩散及腐蚀引起的横向变化量的组合结构,(2)用于监测CMOSIC动态参数的结构设计及其对工艺的评价。
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