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阐述了用于超高密度光存储的集成式扫描近场光学显微术（SNOM）微探尖的液相外延选择生长方案,并给出了实验结果．此种微探尖,可直接生长在微型集成式SNOM传感器的垂直腔表面发射激光器（VCSEL）晶片出光口上,避免了探尖转移带来的探尖损坏、难以对准等技术难题．该制作过程具有重复性较好,设备简单、经济,实用价值较高等优点． 相似文献
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