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利用扫描探针显微镜(SPM)进行电场诱导氧化加工的方法可应用于半导体微型器件和纳米电子器件的加工制作，文中研究了原子力显微镜(AFM)电场诱导氧化理论以及一些加工参数(偏置电压和加工速度)对加工结构尺寸的影响，并提出了阈值电压的概念，通过实验得出了偏压越大，加工线尺寸越大的结论，并指出随着加工速度的增大，加工线宽和线高都减小，且加工线高度和加工速度近似呈负对数关系，实验是在H钝化的Si表面上进行的。 相似文献
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介绍了一种采用双单元扫描隧道显微镜实现纳米超微定位超微加工的新方法,双单元扫描隧道显微镜由两个Ｚ向同轴ＳＴＭ单元上下组合而成,分别作为样品测量加工单凶与参考定位单元,两者共用一个ＸＹ扫描器,参考定位单元以规则的晶格空间为参考,采用原子阵列伺服寻踪和针尖锁定剂到原子的技术,可以实现纳米级超微定位,与参考定位单元具有相同定位精度的样品测量加工单元采用电压脉冲法可以形成样品表面上的纳米级特征结构。 相似文献
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模糊控制在大载荷高精度液压控制系统中的应用 总被引：5，自引：0，他引：5
在全尺寸采油工具综合参数检测与试验系统中，需要在全量程内对大载荷变化的液压系统进行高精度控制，常规的控制方式容易导致很大的控制偏差甚至超限．利用模糊理论，研制了适用于液压控制的模糊控制算法．在大庆油田两年多的实际应用证明，这种算法有效地避免了应用常规算法容易引起的控制量的振荡和过冲，提高了载荷施加的精度，在0～1000kN量程范围内，载荷的最大偏差为1kN，全量程控制精度优于0．2％．进而提高了井下采油工具检验和采油工艺试验研究数据的准确性和可信度，使该系统成为有实际应用价值的检验与试验研究系统。 相似文献
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结束了4天疲累的吴哥窟＂探险＂之后,我们来到了柬埔寨的海滨城市西哈努克。这是来柬国旅游的游客惯常走的一条线路。在吴哥窟遗迹许多陡峭的阶梯和迷宫一样的残垣断壁之间爬来爬去,早就让人胳膊腿酸疼;乘坐当地三轮车在红土路上驰骋,又不时被热带的风扬起的灰尘扑个满脸;每天为了一赏壮观的日出,几乎没有在5点半以后起床的可能。 相似文献
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基于布里渊放大结构的分布式光纤温度传感技术的研究 总被引：5，自引：0，他引：5
阐述了一种基于布里渊放大结构的分布式光纤温度传感技术,该技术利用了光纤中布里渊频移与温度的依赖关系。本文从传感光纤的结构特点和材料的物性系数出发,在理论上证明了光纤温度与布里渊频移量之间存在线性关系。基于此传感技术建立了一实验系统。测试数据证明了理论分析的正确性。 相似文献
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