真空高低温测试系统

文章反映真空与低温这两门学科在现代科学技术中的应用和发展,着重介绍真空高低温测量实验系统。为适应新技术条件下对材料、器件测试仪器的要求,研制了该真空高低温实验系统。该系统采用液氮制冷,辐射式加热器加热,结合真空技术,是一套可对大尺寸样品进行高真空(最高真空度4×10-4Pa)和高、低温(-173℃~800℃)测量的实验系统,主要包括高低温真空腔体、真空抽气系统和测试接口,可用于半导体器件、发光材料、光学元件(特别是低温光学)、高温超导材料等的测试。