磁流变抛光机控制系统的研究

为实现大口径、超精密光学元件的加工,本文介绍了环带式面接触磁流变抛光机控制系统。论文通过对面接触式磁流变抛光机原理、结构、以及工艺要求进行了分析,制定出设备的控制方案。系统以PLC为核心,实现数据采集、输入输出控制、过程控制等。以触摸屏作为人机界面简单直观,整个控制系统包括运动控制系统、机构调整系统和报警系统,而且要求同时可以实现手动和自动控制。最后通过工艺实验验证了该控制系统满足工艺要求,可以加工口径为φ300mm、曲率半径R不小于30mm,rms小于1nm的光学表面。