静电感应晶闸管(SITH)的工艺控制和参数调节

以静电感应晶闸管（ＳＩＴＨ）的长期工艺实践为基础，总结和研究了器件结构参数对ＳＩＴＨ主要性能参数的影响，并分析了其原因，提出了改善ＳＩＴＨ器件性能的工艺和设计方法。     

静电感应晶体管(SIT)电性能参数的研究

讨论了ＳＩＴ的基本电性能参数以及它们之间的关系。通过这些电参数对器件Ｉ－Ｖ－特性的影响，系统地研究了为改善器件电性能应对各参数进行怎样的调控，以便为在ＳＩＴ的制造中调整好器件的结构，工艺以及材料等制造参数提供理论依据。