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首先采用磁控共溅射的方法在镀钼钠钙玻璃上制备了Cu-Zn-Sn三元金属预制层,再以硫粉为硫源,用快速退火处理(RTP)炉分别在200℃、250℃、300℃、350℃、400℃、450℃、500℃、550℃和600℃进行1 h快速热处理,得到不同温度硫化的薄膜,分别采用XRD、Raman、SEM进行物相和表面形貌的表征.结果表明,在硫化退火过程中,在250~300℃,首先形成的二元相有Cu2S、ZnS、SnS;在300~350℃,三元相Cu2SnS3形成;超过350℃时,晶粒尺寸较小的Cu2ZnSnS4(CZTS)开始形成;随着温度继续升高,CZTS的晶粒逐渐长大,杂相减少;当温度达到500℃时,表面形成结晶性好、晶粒尺寸大且无杂相的CZTS薄膜.通过对XRD和Raman图谱的分析,确立了各个温度区间发生相转变的化学反应方程式.  相似文献   
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