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用Ar~+离子束溅射高纯多晶Ni靶,在Si(100)基面上沉积150nm的Ni膜。经400℃的真空退火1小时后,分别用XRD和XPS检验了两种大小不同角度上沉积试样的生成相及界面态。当沉积角≥66°时,试样退火后仅出现Ni膜择优取向晶化,无硅化物生成。而在接近0°的小角度处沉积的试样,在相同条件退火后则出现以NiSi为主的三种硅化物混合相。 相似文献
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