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针对P LZT陶瓷光致形变直接驱动响应速度较慢的问题,提出了一种光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁的新型驱动方式.阐述了光电-静电驱动悬臂梁的驱动机理,并建立了光电-静电驱动悬臂梁的静态模型;利用平行板电容器原理,推导出光电-静电复合驱动悬臂梁的挠度与静电力之间的微分方程,并得到悬臂梁自由端挠度的解析表达式;建立了光电-... 相似文献
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