排序方式: 共有1条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
高注量的氦注入硅中并经热处理所形成的微孔,对金属原子的吸除作用已为大量的研究所证实。作者报道了该技术应用于平面二极管理中对金杂质吸除的研究,其结果表明,在粗糙研磨表面上形成的氦诱生微孔,同样具有良好的吸除效果。 相似文献
1