退火工艺对高压阳极铝箔发孔均匀性的影响

采用金相显微镜、扫描电镜研究不同退火工艺处理铝箔在盐酸硫酸腐蚀体系中表面腐蚀发孔的均匀性和表面形貌特征,用二次离子质谱仪分析铝箔表面Fe,Si,Cu和Mg等微量元素沿深度方向的分布。研究结果表明:退火工艺可以改变铝箔微量元素的表面聚集形式,从而改变腐蚀发孔率和发孔均匀性;在500℃退火时,Cu元素在表面富集太少,表面腐蚀发孔不均匀;在575℃退火时,铝箔表面富集了足够的微量元素,发孔面积明显增加。在二级退火方式下,各种微量元素表面聚集都很少,发孔率低。升温速度和冷却速度对铝箔内微量元素的聚集也有一定程度的影响。