溅射过程的Monte Carlo方法模拟计算

运用Monte Carlo方法对溅射过程进行了模拟计算,其结果清楚地描述了溅射的微观过程,溅射产额的计算值与实验值吻合。     

涂覆草酸钇薄膜改善氮化铝粉耐水性及其机理

研究了表面涂覆草酸钇薄膜对氮化铝（ＡｌＮ）粉耐水性的影响。结果显示：涂膜后ＡｌＮ粉在１００℃沸水中回流４５ｍｉｎ不与水反应，温度降至７８℃时可耐水３ｈ以上；耐水时间随涂覆量增加而增加，随温度升高而下降。水分子通过薄膜的扩散过程是影响ＡｌＮ耐水性的决定因素。用Ｘ光电子能谱（ＸＰＳ）和红外光谱测定了表面草酸钇与ＡｌＮ界面形成的化学键。