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微型触觉传感器敏感单元的分析和测试 总被引:5,自引:1,他引:4
对 E 型方膜结构传感器敏感单元进行了静态特性( 变形、应力等) 和动态特性( 固有频率、振型等) 的理论分析和有限元( F E M) 计算.并采用自反馈光纤式麦克尔逊干涉仪测试了其动态特性参数.这一研究为微型触觉传感器敏感单元的优化设计和应用提供依据和支持 相似文献
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