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溶胶-凝胶法制备锰酸钇YMnO_3薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel),以锰酸钇(YMnO3,YMO)为前驱体制备YMO薄膜,它是一种常用制备薄膜的方法。YMO前驱体的配置和热处理是制备薄膜质量的关键,YMO薄膜是在800℃退火处理后,利用X-射线衍射仪对YMO薄膜进行结构分析得到的,它具有很好的晶向结构。 相似文献
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采用化学溶液沉积法,在(100)取向单晶硅衬底上制备铁掺杂镍酸镧(LaNi1-xFexO3,LNFeO-x)薄膜,研究了其结构和室温下的导电特性。X射线衍射测试结果表明,经700 ℃ 1 h退火的薄膜呈钙钛矿结构,没有可以观察到的杂相生成。薄膜表面平整、致密,没有微裂痕出现。随着铁含量的增加,薄膜电阻率由1.7 mΩ·cm 增加到 3.9 mΩ·cm。 相似文献
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