VTS-80真空退火炉的设计

金属在真空中退火是真空热处理的一种工艺,目前在钛、锆等稀有金属材料的加工中应用广泛。详细介绍了VTS-80真空退火炉的应用、结构及主要部件的设计。     

基于工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备控制系统设计

磁控溅射镀膜技术在薄膜制备领域广泛应用,控制系统的设计对磁控溅射镀膜设备的稳定运行有着重要的影响。介绍了基于嵌入式一体化工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备电气自动控制系统的硬件构成、系统原理、系统功能,论述了其设计思路及方法,并重点叙述了OMRON CJ系列PLC在控制系统中的应用。