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本文提出了一种适用于离子源及分析仪器的低量限气体流量计,并进行理论分析,指出了粘滞流的工作模式;描述了流量计的结构和给出了实验结果.理论分析计算与实验基本符合.本流量计选用毛细管为感受器,并经皂膜法标定.具有最小可检量低(2.8×10~(-5)Pa·m~3/s,即1大气压ml/h),并可方便地连续测量的特点.压差显示器采用套管式结构,能防止显示液外溢和污染真空系统.最后给出了两个应用实例,测量了潘宁“Penning”型和考夫曼“Kaufman”型离子源的气体耗量. 相似文献
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