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MEMS技术的发展与应用   总被引：2，自引：0，他引：2  
MEMS是微机电系统的简称,是多种学科交叉融合的前沿高技术,是未来的主导产业之一,将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响.本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、以及主要应用.  相似文献   
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