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为了解决本征碳纳米管在SF6气体传感检测方面存在局限性的问题,研究了基于空气等离子体改性的本征碳纳米管气体传感器对SF6分解气体中重要特征组分的气敏特性。利用空气等离子体对本征碳纳米管进行改性,引入空气等离子体预处理碳纳米管表面,研究改性碳纳米管在检测SF6气体分解组分时的气体传感响应特性。结果表明:与本征碳纳米管相比,经空气等离子体改性的碳纳米管气体传感器对H2S气体的电阻变化具有较高的灵敏度,响应时间短,并具有良好的重复性和稳定性;经空气等离子体改性的碳纳米管对SO2气体电阻变化率的敏感性明显降低;不同掺杂比例的碳纳米管气体传感器对SOF2和SO2F2的敏感性不同。因此,基于空气等离子体改性的本征碳纳米管气体传感器能准确反映SF6气体的放电分解情况,可为准确检测SF6气体的分解成分提供依据。 相似文献
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