在硅的无坩堝区域提純过程中关于利用湿氢除硼的几个問题

本文讨论了在湿氢条件下,进行硅的无坩堝区域提纯时,所遇到的几个问题。主要包括:氢气实际露点和氢气流量的关系;控制湿氢中水汽量的方法;最佳水汽量的选择和最佳湿氢提纯效率等问题。