新型可调谐外腔半导体激光器光频扫描干涉测距方法

针对光频调谐器件压电陶瓷的形变滞后影响测量精度的问题,提出了一种采用局部二次曲线过渡的激光器驱动信号波形的修正方法。利用布里-帕罗干涉仪测得的光频率扫描时间,建立了激光器扫频驱动过程的传递函数模型,采用最小二乘峰值检测法来识别干涉信号的波峰,通过建立的激光器扫频驱动控制传递函数模型,对激光器光频率非线性输出进行了补偿。实验结果表明,激光器扫频驱动信号波形修正方法可消除干涉信号转折处的波形畸变,而相位测量、激光器输出的补偿方法可将测量系统的重复精度、定位精度提高近10倍。