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纳米级二维激光外差干涉仪的设计陈晓梅曹航周自力亓爱会（长城计量测试技术研究所北京１０００９５）本文提出的一种５０μｍ测量范围内，２ｎｍ不确定度、０．５ｎｍ分辨率的二维激光外差干涉仪的设计是为建立国防项目，而预先研究的关键技术之一，即激光外差干涉测量仪...  相似文献   
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