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本文在离子注入机设备领域中,提出一种新的检测控制装置.用于解决VISI和LSI 芯片生产的离子注入机设备中确保掺杂的纯度;提高低剂量注入下重复精度及操作的自动化等问题.在离子注入机的头部高压包内,使用微机进行实时控制.即检测当前质量数,用闭环调节激磁电流的方法调整B,使被分选的离子质量数自动锁定在给定值.锁定精度与高质量数的范围,优于±0.3a.m.u.本文阐述了质量数锁定的理论,实施方法和数据采集、闭环控制、系统接口防护等主要技术关键问题. 相似文献
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溜河地区侵入岩分布广泛,时代齐全,特别是与该区金矿的成因有着密切的关系,通过分析不同时代的不同岩性侵入岩岩石化学特征与地球化学特征,探讨了其侵入岩浆的整体演化规律、构造背景和侵位机制。 相似文献
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