SS-AlN全玻璃真空集热管退火排气一体化项目试验探讨

通过对现有排气台的改造,将管口退火与真空排气同时进行。试验通过对新工艺所制作的真空管与正常工艺制作的真空管进行各项性能参数的测定与对比,从而确定该工艺的合理性与可行性。综合有关数据结果,可以确定:退火排气一体化工艺可将封口后产生的应力去除,能保证真空管质量;退火排气一体化工艺同原工艺相比,真空管的各项性能指标无明显差异。     

反应溅射电压反馈智能控制的实现

磁控反应溅射中的电压波动是行业中普遍公认的难点,我们将PLC逻辑控制与先进的模糊控制结合,建立模糊逻辑,根据理论及实践经验自行设计专家系统判断程序,根据内置的逻辑判断及数据计算动态调整磁控反应溅射的电压——流量对应关系,减轻人为因素对产品质量造成的影响。这是一套磁控反应溅射电压控制的通用程序,在氮化铝反应溅射使用中电压的稳定性由目前行业中的波动±10V减低到了±1V,解决了氮化铝反应溅射电压波动大的难题,保证了生产的稳定。