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采用FTO/LTO(LPO)/TaO_x/Al复合结构,利用磁控溅射分别制备TaO_x,LTO(Li_xTi_yO_z),LPO(Li_xPO_y)薄膜,研究了制备工艺对复合薄膜的微结构、离子传输特性的影响.重点探讨了不同退火温度LTO/TaO_x,LPO/TaO_x复合结构的光电性能和Li~+界面传输行为.结果表明,LTO/TaO_x复合结构中,电荷转移电阻在离子传输中起着重要的作用,界面电导率在很大程度上有助于总电导率;LPO/TaO_x复合结构随着退火温度的升高,电解质薄膜之间元素扩散现象加剧,总的离子电导率逐渐减小.  相似文献   
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