弹道电子发射显微镜的原理及应用

本文的主要目的是向国内同行介绍一种新型的探测技术－－弹道电子发射显微镜的原理和应用。由于这一技术在半导体材料和器件中有着很重要的应用前景，国外愈来愈多的研究机构工作都在开展这方面的工作。因此作者民地此作简要介绍，以供国内同行参考。