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二十一世纪微电子光刻技术与设备的发展对策研究 总被引:1,自引:0,他引:1
微电子、集成电路的水平是国家地位和综合国力的重要标志。集成电路集成度的增长离不开生产和制作集成电路的光刻设备。本文重点介绍集成电路的制造技术的制作设备的最新发展状况,提出发展我国微电子光刻技术的建议。 相似文献
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