Cu 在 FeCl_3 溶液中的蚀刻研究

研究了ＦｅＣｌ３溶液浓度、温度及样品在溶液中的运动速度对Ｃｕ蚀刻速度的影响。在所研究的溶液浓度范围内，蚀刻过程为扩散控制为主的过程；在溶液相对密度为１．２６～１．３２时Ｃｕ的蚀刻速度具有极值。Ｃｕ在ＦｅＣｌ３溶液中蚀刻其表面有ＣｕＣｌ膜的沉积，钝化膜对Ｃｕ的蚀刻有大的影响；蚀刻反应受Ｆｅ３＋通过钝化膜的扩散过程控制。试验拟定了初步的蚀刻工艺。     

湿加松F1杂种家系年度生长相关及其早期选择

通过对湿加松(湿地松×洪都拉斯加勒比松)家系间早晚生长性状的相关性研究表明,18个湿加松家系的树高、胸径、材积差异均极显著;各家系树高、胸径、材积的年度相关主要受遗传影响;造林后第2年的树高、第3年的胸径和材积估计造林后10 a的材积均具有极显著的相关性,而且选择效率最高,表明湿加松家系在造林后2 a可进行早期选择.湿加松早期选择的方法是:在2年生时根据树高生长量淘汰早期生长较差的家系.淘汰率为30%以内;在6年生时根据材积生长量选择生长最优的家系,入选率为35%以内.     

武汉城市圈产业技术创新与“两型社会”发展

武汉城市圈"两型社会"建设国家级综合配套改革试验区能否取得成效,其关键在于坚持产业创新为根本,构建两型产业.试图讨论产业技术创新与"两型社会"建设的相互关系,并针对武汉城市圈的优势产业提出了构建两型产业技术创新的模式.     

非零均值随机作用下振动系统的响应分析

本文提出了一种在非零均值非平稳高斯激励下获得非线性多自由度系统响应的等效线性化方法。利用高斯过程的性质，得到了等效线性系数的封闭公式，等效线性系数在数学形式上与 Ａｔａｌｉｋ和 Ｕｔｋｕ法得到的结果一样简洁。本文提出了用模态截断法处理复杂结构的随机振动方程、及时域上计算系统随机响应的方法。提出了求解随机振动系统 均值和方差方程的计算方法。     

Development of a BGA Package Based on Si Interposer with Through Silicon Via

A ball grid array (BGA) package based on Si interposer with through silicon via (TSV) was designed. Thermal behaviors of the designed BGA with Si interposer has been analyzed and compared to a conventional BGA with BT substrate in the approach of finite element modeling (FEM). The Si interposer with TSV was then fabricated and the designed BGA package was demonstrated. The designed BGA package includes a 100 μm thick Si interposer, which has redistribution copper traces on both sides. Through vias with 25 to 40 μm diameter were fabricated on the Si interposer using deep reactive ion etching (DRIE), plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), copper electroplating and chemical mechanical polishing (CMP), etc. TSV in the designed interposer is used as electrical interconnections and cooling channels. 5 mm by 5 mm and 10 mm by 10 mm thermal chips were assembled on the Si interposer.     

湿地松×加勒比松杂交育种研究成果与展望

文章介绍了湿地松×加勒比松杂交育种的系列研究成果：探索出一套高效、经济的湿地松与加勒比松杂交制种技术;配制杂交组合,摸清了不同杂交类型的结实规律;系统设置测定林,确定了杂种的适宜栽培区范围系统设置测定林;首次对三类杂交种的生长优势和形质性状作出评价;筛选出一批优良杂种家系;揭示出杂种主要经济性状的遗传变异规律;发现杂种家系的基因型与立地的交互作用不明显;依据早一晚生长相关,确定了杂种家系的早期选择最佳年龄;首次构建出杂种家系的生长过程模型;确证杂种优良家系可通过扦插繁殖大量推广;提出了优良杂种规模化无性繁殖技术体系,实现优良杂种的规模化生产与推广,分析了预期应用前景,最后提出了下一步的研究建议。     

信息质量检验的熵模型

基于信息—熵理论证明在样本足够大的条件下，抽样信息量的平均值近似服从正态分布；并应用该结论提出一种检验信息质量的方法，进一步研究先验信息和后验信息的可信度问题，提高决策人甄剐信息和做出正确决策的能力。     

硅晶圆上窄节距互连铜凸点

为了满足日益减小的互连节距需求,该文研究了晶圆上窄节距铜凸点的成型技术。铜凸点成型主要包括溅射凸点下金属化层(under bump metallization,UBM)、厚胶光刻、电镀、去胶、刻蚀UBM等。通过研究甩胶、前烘、曝光、显影、后烘等技术参数,优化了正性光刻胶AZ4620的厚胶光刻工艺,并通过理论分析验证了其合理性。同时,进行了湿法腐蚀和干法刻蚀UBM的对比实验,得到了用于超窄节距凸点去除UBM的不同方法。最终获得了节距20μm、直径10μm、高度10μm的凸点,侧壁垂直度达到83.95°;并采用剪切力测试方法表征晶圆上铜凸点强度的分布特点,得到剪切强度接近体材料的剪切强度。     

通用动态测试系统的设计与实现

就目前工业自动控制领域的现状与未来发展趋势,提出了一个通用动态测试系统的设计方案。详细论述了以C8051F020单片机为核心硬件模块,以通用PC机为上位控制机,利用VB语言设计开发一个通用动态测试系统的具体实现过程。该测试系统对于现代工业现场测控具有相当广泛的适用前景。