Research on Micromanipulating Robot Based on Micro Parts Assembly

At present, micro parts assembly is one of the key problems in the fields of micromachine and microelectro mechanical system (MEMS). Performing microassembly by micromanipulating robots is put forward in this paper. Thus based, the general structure of a micromanipulating robot is analyzed briefly. A micro telemanipulating robot developed by the authors with visual monitoring and bilateral force feedback is introduced. The peg in hole task of 0.2mm has been finished successfully by telemanipulation. The operator has gained durative and stable contacting force perceiving.     

IC晶圆高效稳定传输原理与实现

在超大规模集成电路（ IC）制造过程中,晶圆需要在数百道工艺之间频繁传输,晶圆传输能力对整个IC产业的发展至关重要。晶圆传输机器人是IC制造领域的关键设备之一,承担着晶圆定位与快速、平稳搬运任务。随着IC制造向着大尺寸（直径≥300 mm ）晶圆与小线宽（≤32 nm ）方向发展,晶圆生产线工序更集中,加工速度更快,工作环境更洁净,这对晶圆传输机器人性能提出了更高要求。为了实现大尺寸超薄晶圆的高效稳定传输,我们从晶圆传输机器人精确平稳轨迹跟踪控制、面向晶圆传输的微阵列传输面设计以及接触面微力与粘滑检测触觉传感器设计等3个方面开展了研究。针对现有晶圆传输机器人样机中各个运动关节不同步和末端手的振动问题,我们提出把交叉耦合控制技术和输入整形控制同时应用到平面关节型晶圆传输机器人中,达到减小轨迹跟踪时的轮廓误差和消除柔性传动环节引起的末端执行器振动的目的,实现了机器人精确平稳轨迹跟踪控制。针对目前凸点支承式末端执行器传输晶圆时摩擦系数较小、传输效率低下的不足,我们提出了一种基于微米级垂直微阵列结构的新型晶圆传输面设计方法,实验表明该方法有效提高了晶圆传输加速度,可显著提高晶圆传输效率。针对大尺寸晶圆高效可靠传输过程中接触信息检测需求,我们提出了一种新型的晶圆传输接触面微力与粘滑传感器系统方案,即利用压敏导电墨（ PSCI ）的压阻效应实现三维力测量以及利用电磁感应原理实现粘滑检测,并通过实验验证了该方法的可行性。本文依次从问题提出、国内外研究现状分析、研究特色与实验验证等方面分别对上述3个部分的研究内容进行了分析与阐述。最后,结合上述分析,本文对现阶段的研究成果进行了总结,并提出了下一步的研究设想。     

面向蛋白质结晶的微量生物试剂自动分配技术研究

近年来，蛋白质结晶技术向高通量方向发展，对微量试剂自动化分配技术提出了更高的要求．本文针对蛋白质结晶操作中微量试剂分配具有试剂种类多、分配精度高、速度快等要求，总结分析了目前该领域中各种微量试剂分配技术的原理、优缺点、适用场合以及面向蛋白质结晶操作时微量生物试剂分配方法的选择原则．最后，采用计算流体动力学（CFD）分析方法，对目前常用的非接触式微量试剂分配中液滴脱落过程进行分析．得出系统压力，试剂特性以及喷嘴尺寸等参数对分配过程的影响趋势，并指出微量液滴成功与喷嘴脱落实现非接触式分配所必需满足的条件．