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教育与普及
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1998年
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1
1.
镶嵌在SiO_2薄膜中的纳米InSb颗粒的制备
总被引:4,自引:0,他引:4
朱开贵
石建中
魏彦峰
张立德
《科学通报》
1998,(13)
用射频磁控测射的方法制备了镶嵌在SiO2 薄膜中的纳米InSb颗粒 .透射电子显微镜观察表明 ,纳米InSb颗粒均匀地镶嵌在SiO2 介质中 .通过控制热处理的条件 ,可以得到具有不同颗粒尺寸的InSb纳米颗粒 .InSb颗粒的尺寸与热处理温度和时间成正比 ,但是并不满足t1/3 的关系 .另外 ,还通过X射线衍射以及X射线光电子能谱对InSb SiO2 复合薄膜的结构和成分进行了分析
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