电子束曝光用精密X-Y工件台系统

为电子束曝光用的激光定位精密 X-Y 工件台系统已在中国科学院光电技术研究所研制出来。它包括:X-Y 真空工件台,激光干涉仪及其电气系统,真空箱体,X 及 Y 向驱动电机及驱动电气系统,带打印机的微型计算机操纵系统,真空泵,隔振台。工件台采用 V形导轨结构,行程100×100毫米。为了防止磁性对电子束偏转的干扰,工件台零件采用了抗磁性材料,V 形导轨则经过仔细地退磁。两个1/10波长平面度的 V 形反射镜成直角地装在工件台上,正交度在1角秒之内。激光干涉仪除激光器与光电接收器外,其光学零件均安装在真空箱体内,如此可免除大气条件对光波波长的影响。该干涉仪采用了一种特殊的光路设计,可获得稳定的干涉图样,并使其分辨率达到0.04微米。X-Y 驱动电机在真空箱体之外,通过密封接头带动箱体内的工件台运动,其动作由微型计算机操纵。电气控制柜在真空箱体之外。其上除装有驱动电机的电气系统外,还装有激光干涉仪的电气系统。两个十进位显示器随时指示 X-Y 工件台的实际位置。真空泵采用油扩散泵,它装在箱体的下方,隔振台的中间。隔振台是弹簧悬挂式的,自振频率为2赫芝。该 X-Y 工件台系统的空位重复性为2σ=±0.04微米,准确度为0.1微米。     

小目标红外测温仪

针对磨削加工过程中温度测量的需要研制了红外测温仪。本文介绍它的原理与结构。其主要特点是能够对0.4×0.6mm~2的小面积辐射源进行非接触测温,能迅速反应出被测目标的微小温度变化。测温范围600—1700℃。该仪器还可用于感应炉熔区温度测量,高频淬火工件表面温度测量等。文中还简要介绍了磨削区表面温度测试情况。     

存储压缩

有效地管理与使用计算机的存储空间是计算机科学所研究的重要课题之一,显然,进行存储压缩无论是在理论上还是在实践上都是有意义的。本文借助阈值逻辑理论,利用最大分离及矛盾点的最小删除等方法提出对欲输入的数据进行存储压缩的技术,并指出其压缩比为 2~n/2~(1/2)(2~n/n)~(1/2)n~2由此可看出,当数据越多其数据压缩比越高(如n=29时为112)。无疑这对于需永久性保留资料且一直不断增加其数据的业务部门提供了一个解决问题的途径。