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作为光学微腔的一类,回音壁模式微瓶谐振腔可将光限制在极小三维区域振荡,具有高品质因子和低模式体积的特点。此外,其天然的中空通道可与微流控技术相结合,是实现光流传感器的重要平台。文章首先概述微瓶谐振腔的发展历程;然后简述微瓶谐振腔的传感机理,包括模式漂移、模式劈裂和模式展宽;接着对微瓶谐振腔理论模型和制备工艺进行介绍;随后着重阐述空心微瓶谐振腔的传感应用,包括温度传感、压力及超声波传感、生化传感、气体传感、磁场传感、液体属性传感、水凝胶相位传感等;最后对微瓶谐振腔的传感应用进行总结和展望。 相似文献
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