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近年来,用化学腐蚀方法制作腐蚀腔面GaAs激光器和集成光路,受到了相当重视,已经报道了激光器与调制器,激光器与场效应晶体管,双波导结构激光器与放大或探测器,以及激光器与探测器等的单片集成。 适合于集成的GaAs激光器有分布反馈(DFB)激光器,分布布拉格反射(DBR)激光器和腐蚀腔面激光器等。DFB和DBR激光器由于需要制作精细的皱光栅结构,因此不易达到 相似文献
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